技術參數
| 治具最大尺寸： | R三200mm，X三250mmy三100mm | ||||
| 最小可設可測PAD： | 兩線 0.05mm 四線0.12mm |
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| 已制作最小針型： | 0.05MM | ||||
| 最小孔徑： | 0.06MM | ||||
| 設備最大點數： | 上治具:2048 點下治具:2048 點 | ||||
| 已制作最大點數： | 3245點 | ||||
| 孔位精度： | 12μm以內 | ||||
| 治具誤測率： | 小于3% | ||||
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